Устройство для атомно-слоевого осаждения, (6542)
youtube facebook twitter
Реклама на портале КАТАЛОГ-НП.РФ
Федеральный каталог высокотехнологичного оборудования и объектов научного потенциала России

Устройство для атомно-слоевого осаждения

     

логотип организации   Московский государственный институт электронной техники (НИУ) (НИУ МИЭТ)

адрес: г. Москва, Зеленоград, проезд 4806, д. 5
показать на карте
телефон: (499) 720-85-28
факс: (499) 720-85-28
e-mail: lv@miee.ru
web-сайт: www.miet.ru
 
Контактные данные ответственного лица:
Николай Алексеевич Дюжев, тел.: (499) 720-69-08,
e-mail: djuzhev@unicm.ru

Основная информация:

Объект права: Полезная модель
Охранный документ: Патент РФ № 172394 от 06.07.2017
Стоимость передачи: по договору
Краткий регламент передачи РИД:
передача РИД осуществляется в рамках договорных отношений, по предварительному заказу

Текст реферата (краткое описание результата интеллектуальной деятельности):

Использование: для наращивания тонких пленок методом атомно-слоевого осаждения. Сущность полезной модели заключается в том, что устройство для атомно-слоевого осаждения содержит реакционные камеры в количестве 4 штук на 4 пластины диаметром до 200 мм, вакуумированный корпус и подъемно-поворотную крышку реакционных камер с поворотом 45°, нагреватель и систему подготовки газов, где крышка камер имеет механизм подъема и уплотнения относительно пьедестала для размещения пластин, механизм поворота крышки имеет систему периодического включения, а система подготовки газов выполнена с раздельной подачей реагентов в трубопроводах для препятствия их смешивания. Технический результат: обеспечение возможности повышения производительности.


Не удается связаться с контактным лицом? - такое возможно, ведь он(она) всего лишь сотрудник, а не диспетчер, но Вы можете:

отправить ответственному текстовое сообщение:

Отправитель (организация, Ф.И.О.):
Электронная почта отправителя:
Заголовок сообщения:
Текст сообщения:
ОЧИСТИТЬ   ОТПРАВИТЬ

и/или оформить заказ на передачу РИД:

Ф.И.О. (должность) заказчика:
Организация заказчика:
Контакты заказчика (адрес, телефон):
Электронная почта заказчика:
Описание заявки на передачу РИД:
ОЧИСТИТЬ   ОТПРАВИТЬ

Отзывы, комментарии и результаты голосования пользователей

Если Вам есть, что сказать по поводу этого РИД, оставьте свой комментарий:

Организация (Ф.И.О.):
Общее впечатление:
положительное   отрицательное
Текст комментария (отзыва):
ОЧИСТИТЬ   ОТПРАВИТЬ

Результаты голосования, отзывы и комментарии пользователей:

Этот РИД нравится:  12


Пока комментариев нет, но Вы можете быть первым!


Поддержите наш проект:   руб.