03.01.03.00.00: Протонные и другие ионные микроскопы
Федеральный каталог высокотехнологичного оборудования и объектов научного потенциала России

Протонные и другие ионные микроскопы

 1.  Сканирующий мультимикроскоп СММ-2000 (Протон-МИЭТ)
Исследование поверхностей различных материалов в режимах сканирующей туннельной и атомно-силовой микроскопии (получение 2D и 3D-изображений в редактируемых палитрах, возможность проведения математической обработки и анализа кадров).
О. Н. Никитушкина, тел. (499) 135-(70-11)/ (44-55) е-mail: olik-n@yandex.ru,
 2.  Ионный сканирующий микроскоп Strata FIB 205 (FEI)
Ионный микроскоп с галлиевым жидкометаллическим источником ионов, ускоряющее напряжение от 5 кВ до 20 кВ, разрешение 7 нм, ток пучка от 1 пА до 20 нА, плотность тока до 100 А/ см2. Система оснащена 5-и осевым моторизованным столиком 50х50 мм, газовыми инжекционными системами для напыления проводников и диэлектриков, а также для травления образцов. Прибор идеален для анализа внутреннего строения объектов. В состав прибора включено программное обеспечение для автоматизированной подготовки проб к анализу на ПЭМ.
 3.  Микроскоп ионный сканирующий Zeiss Orion
Предназначен для проведения общенаучных экспериментов в области ионно-гелиевой микроскопии
Микушев Сергей Владимирович, тел. : (812) 363-60-36, e-mail: s. mikushev@spbu.ru
 4.  Микроскоп с полевой эмиссией JEOL JSM-7500F
JSM-7500F – это растровый электронный микроскоп с холодным (автоэмиссионным) катодом, который сочетает в себе простоту управления, большой срок службы катода, аналитические возможности, а также экономичность в энергопотреблении. Холодный катод и объективная линза открытого типа (semi-in-lens) позволяют получать изображения с высоким разрешением и контрастом при малых токах пучка и низких ускоряющих напряжениях. Это особенно важно при работе с деликатными, чувствительными к пучку, образцами – полимерами, биологическими образцами, полупроводниками и т. п. Также JSM-7500F по умолчанию комплектуется автоматической шлюзовой камерой, что существенно снижает время замены образца, уменьшает скорость загрязнения камеры образцов, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления и продлевает срок службы катода и диафрагм в несколько раз. Однако даже использование шлюза не мешает работать с большими образцами: до 200 мм в диаметре и до 40 мм высотой.